近日，智芯达真空设备（江苏）有限公司自研的IZO低温低损伤磁控溅射设备完成调试验收，正式交付硅基Micro‑OLED头部生产线。这是江苏省盐南高新区在高端真空装备领域的重要技术突破，将推动我国AR/VR硅基显示镀膜装备实现关键国产化替代。

硅基Micro‑OLED是AR/VR、车载近眼显示的核心器件，发光材料敏感度高，传统进口设备易损伤有机膜层，影响产品良率。该自研设备依托自主专利技术，将基底温度稳定控制在40—60℃，有效降低粒子冲击损耗；通过优化结构设计，膜层均匀误差控制在±2%，厚度达到纳米级。设备核心工艺对标国际进口产品，在低温防护、量产能力、良品把控等方面具备竞争优势。

据智芯达副总经理洪耀介绍，此次设备研发交付周期紧张，短于海外同类产品交付时长。研发团队优化设备结构，完成关键零部件国产化配套，实现与进口设备持平的技术水准，为国内近眼显示厂商提供国产化方案，有效降低生产线建设与运维开支，加快相关产业链自主可控进程。

立足现有技术成果，企业持续拓宽研发赛道，多款新型设备有序推进验证与研发工作，可有效破解传统制造短板，适配5G、6G及先进芯片封装产业需求。目前企业手握60余项国内外授权专利，设备核心部件均实现本土自研制造，后续将持续加大研发投入，推进自研设备量产落地，赋能新型显示产业提质升级。

此次技术突破是盐南高新区培育真空装备新质生产力、做强新型显示配套产业链的重要成果。下一步，盐南高新区将聚焦战略性新兴产业，强化企业科创扶持、产业链要素供给、产业载体配套全链条保障，持续引进培育优质科创企业，壮大高端装备产业集群。