上海交大無錫光子芯片研究院。濱湖區委宣傳部供圖

6月5日，位於無錫市濱湖區的上海交大無錫光子芯片研究院(CHIPX)迎來突破——首片6寸薄膜鈮酸鋰光子芯片晶圓在國內首個光子芯片中試線下線，同時實現了超低損耗、超高帶寬的高性能薄膜鈮酸鋰調制器芯片的規模化量產，關鍵技術指標達到國際先進水平。

光量子芯片是光量子計算的核心硬件載體，其產業化進程關系著量子信息領域自主可控戰略。作為濱湖區競速量子科技賽道的“頭號工程”，也是區域未來產業地標，上海交大無錫光子芯片研究院於2022年底破土動工，並率先啟動國內首條光子芯片中試線建設。如今，首片晶圓成功下線，中試平台實現量產通線。

據悉，作為一種高性能光電材料，薄膜鈮酸鋰具備超快電光效應、高帶寬、低功耗等優勢，在5G通信、量子計算等領域展現出巨大潛力。然而，由於薄膜鈮酸鋰材料脆性大，大尺寸薄膜鈮酸鋰晶圓的制備一直存在挑戰。當前，憑借中試平台先進的納米級加工設備和快速工藝迭代能力，該工藝團隊通過大量工藝驗証與優化，以深紫外（DUV）光刻與薄膜刻蝕的組合工藝，系統解決了晶圓級光子芯片集成瓶頸。

濱湖區是無錫集成電路產業主要聚集區之一。這裡構建了國家集成電路設計中心、清華無錫研究院智能產業創新中心等一批高能級科創平台﹔集聚集成電路企業200余家，建成以中科芯、卓勝微、國芯微電子等企業為代表的集成電路設計產業集群，入選全省特色產業集群。2024年集成電路產業實現營收133.1億元，增幅20.16%。（周夢嬌）

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